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Radimoラジカルモニター <対向型ラジカルモニターDP型>
世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。
Radimoラジカルモニター <対向型ラジカルモニターDP型>は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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