Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞片桐エンジニアリング

世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室での研究成果にて校正された最新のものが搭載されています。
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関連リンク - http://www.kk-eng.co.jp/20050608014836.htm

基本情報Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

【特徴】
○エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の
　原子状ラジカルを計測
○プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置
○世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置
○水素、窒素、酸素の原子状ラジカルを真空紫外吸収分光法を用いて
　ダイレクトに計測し、プロセスにフィードバック可能
○ICF70フランジに取付可能
○各種プラズマ装置に取付可能
→EBEP処理装置、CCPエッチング／CVD、Cat-CVD、
　ICPエッチング／CVD　等
○真空排気系一体制御型モニタリングシステム等、システム構成は
　お客様のニーズに対応

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