Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

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基本情報Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

各種真空装置の開発・設計・製作・サービスなどを行っている株式会社片桐エンジニアリングの製品カタログです。

【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください】
エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にした「Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞」

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室での研究成果にて校正された最新のものが搭載されています。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。（詳細を見る）

取扱会社 Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

株式会社片桐エンジニアリング

○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス

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