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パルス機能を利用!ALDと同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成す…
『KOBUS F.A.S.T.(R)』は、産業向けALDレベル膜質のプラズマ成膜装置です。 パルス機能を利用することで、ALD(Atomic LayerDeposition:原子層堆積)と 同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能。 プロセス温度は80℃~500℃でウエハサイズは150mm、200mm、成膜速度は 0.1nm/min~500nm/minとなっております...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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