ビューポートシャッター　SFシリーズ

ビューポートシャッター　SFシリーズ

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 　各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の 　RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることが...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社