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細くて深い溝にも綺麗に成膜できる!新しいMEMS受託加工サービスのご紹…
従来のCVD法で生じた成膜のムラをALD法を使って解消しませんか。 ALD(Atomic Layer Deposition)では原子レベルで一層ずつ成膜するため、細く深い溝にも緻密に成膜することが可能です。 6インチ及び8インチのバッチ処理に対応。 ご興味ございましたら、弊社までお気軽にお問い合わせください。 https://www.sssj.co.jp/cgi-bin/ja/usr/...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン
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