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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介!
『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD(化学蒸着)プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD(物理蒸着)プロセスは、プラズマエネルギーを利用して 200 ~ 500℃の 低い温度でコーティングするので、基本的...
メーカー・取り扱い企業: オネストン株式会社 本社
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