フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

半導体製造装置部品

消耗部品から修理に渡り、お客様のコストダウンに貢献できるご提案、ご提供…

当社では、フォトリソやインプラ、エッチングなどの「半導体製造装置部品」 を取り扱っております。 干渉フィルタやカバーグラス、インプットレンズなど各種光学部品を はじめ、クランプリング(Ti, SUS)、リフトフープやインナーシールド、 マグネット再生などのパーツもご用意。 その他、光学検査機器・測定機器・解析機器などのご提供や装置メンテナンス、 改造、設計、製作などお客様のご要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ポシブル