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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も
クラス100、1000のクリーンルーム内で一貫生産!短納期、少量製作に…
ワッティーが提供する『ガス供給ユニット』をご紹介します。 使用配管グレードは、SUS316L BA、EP(WEP)で、 φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチの配管径に対応。 溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っております。 【特長】 ■クリーンルーム内で一貫生産(クラス100、1000) ■CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、 ベ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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