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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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浦野技研は、高圧窒素ガス発生装置・温調洗浄機の開発・製造を 行っています。 お客様をアシストする技術を高める為に、何故と思う関心を持ち、 今あるテーマを成し遂げる諦めない心を持ち続ける事で、高い技術を 保ち続けます。 お客様をアシストできる喜びを糧に、躍進を目指してまいります。 【事業内容】 ■高圧関連装置、半導体関連装置(電気炉関連・CVD) ■自動精密測定装置及び自動制...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社浦野技研
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