フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

細配管加熱ヒーター

200℃以上の加熱が可能です

ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。...外皮；シリコンコーテッドガラスクロス（白） 内皮；焼成済みガラスクロス（白） 発熱線；二重絶縁ニクロム線 細配管用K熱電対；SUSクリップ止め 温調もご要望により行います。PID制御可...

メーカー・取り扱い企業： ラックデザイン株式会社