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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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SUS316、SUS304、ハステロイ、インコロイ、ニッケル等の超精密…
かも、リーゾナブルな価格で提供できる専門メーカーの必要性が高くなってきています。 当社は、半導体製造装置の中でも、特に高レベルの精密加工技術を必要とする、テスト用装置の部品をはじめとして、 CVD装置用部品、炉体関連の重要部品等の販売実績を持つ韓国のメーカーと提携して日本の装置メーカーに高精度の部品を 納入しています。 装置用部品として一般的に使用されている、ステンレスやアルミニウムはも...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インテリンク
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