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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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寸法精度が抑えられる!電子部品の製造治具や封着用治具としても使用されて…
黒鉛(グラファイト)は溶融金属に濡れない特長があり、加工性がよいため、 寸法精度が抑えられます。 そのため、トランジスターやダイオードの電子部品の製造治具や、リード線 とリングの位置決め治具、それらをガラス溶着する際の封着用治具や鋳型 としても、使用されています。 当社では、お客様要望に対応する加工精度、公差を実現、三次元測定機により、 品質を保証。また、カーボンの発塵性を抑え...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社レイホー製作所
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