フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

気相成長株式会社　事業紹介

主に気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを取り扱っています！

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及び その関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタント を行っている会社です。 当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、 台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。 また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 気相成長株式会社

ソリッドSiC

肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した…

『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる 材料として期待されています。 【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティ...

メーカー・取り扱い企業： 東海ファインカーボン株式会社

【カーボン製品の用途】電子部品

寸法精度が抑えられる！電子部品の製造治具や封着用治具としても使用されて…

黒鉛（グラファイト）は溶融金属に濡れない特長があり、加工性がよいため、 寸法精度が抑えられます。 そのため、トランジスターやダイオードの電子部品の製造治具や、リード線 とリングの位置決め治具、それらをガラス溶着する際の封着用治具や鋳型 としても、使用されています。 当社では、お客様要望に対応する加工精度、公差を実現、三次元測定機により、 品質を保証。また、カーボンの発塵性を抑え...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイホー製作所