フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【開発事例のご紹介】制御システム開発賜ります

豊富な開発実績でお客様の業務をサポートいたします！

株式会社アビリカは、制御システム設計からハードウェア設計、システム立ち上げまでトータルでサポートいたします。 事例は全て自社開発ですが、制御だけのご相談もお受けします。 【開発事例】 ■レーザCVD配線形成装置（半導体メーカー様納入） ■2.5in HDD HSA Modular Line（HDDメーカー様納入） ■流体軸受スピンドルモーター組立装置（小形モータメーカー様納入） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アビリカ