SECSＩ＆HSMS対応通信ドライバ『GEMドライバ』

Windows環境で動作する制御アプリケーションにGEM通信機能を追加…

『GEMドライバ(LPD-GEM-H/S)』は、半導体製造装置向けのSECS・GEM・ HSMS通信を実現するソフトウェアパッケージです。 DLL形式のドライバですので、開発言語の制約はありません。 SECSＩとHSMSを同一ドライバで実現できますので、ライン立ち上げ後の 変更要求にも少しの変更で対応できます。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…

ーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社