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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
(数um)~厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。 ■高分解能(サブミクロン 最小1nm) ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)も用意 ■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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