電動アクチュエータ「ROBODEX」

PR空気圧機器、電動機器両方を扱うCKDだからこそ ご提案できる電動アク…

空気圧機器のノウハウを活かした電動機器をご紹介するとともに、空気圧機器、電動機器 それぞれのメリットやデメリットを理解した上で、お客様に適した機種をご提案いたします。 【製品ラインナップ　一部をご紹介】 ☆スライダタイプ（EBSシリーズ）ーコンパクトで高剛性を追求 ☆ガイド内蔵形ロッドタイプ（EBRシリーズ）ーボディとガイドが一体となるアウターレール方式のガイドを内蔵 ☆スライダタイプ　高速・高...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研