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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…
ダルトンのリフトオフ装置は6種のラインナップと6種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型(量産向け)…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型(研究開発・量産向け)…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型(研究開発向け)…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型(研究...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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