ソフトウェア『HyperLith(TM)』

使いやすくパワフルなリソグラフィ・シミュレーション・ソフトウェア

『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、 EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。 LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。 また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連の パターンをGDS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターソフト 本社