【資料】真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明してい…

当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分かりやす...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック