【総合カタログ進呈！】紫外線（UV）殺菌装置・紫外線酸化装置　等

PR【純水・超純水の殺菌や紫外線酸化装置まで！】紫外線殺菌装置ならフナテッ…

40数年前、新しい殺菌手段として、水の紫外線（UV）殺菌装置を開発したフナテック製品の総合カタログです！ 純水・超純水用や工業用水、水産養殖・温泉水用など種類豊富な 紫外線（UV）流水式殺菌装置を中心に紫外線酸化装置、オゾン分解装置までご紹介しております。 【掲載製品】 ■紫外線流水式殺菌装置　RTシリーズ・MSシリーズ・HPシリーズ ■紫外線酸化装置　CXシリーズ・FOVシリー...

メーカー・取り扱い企業： フナテック株式会社 本社　

【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

他手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-V族半導体のバックグラウンドレベルを紹介します（表2）。III-V族半導体以外にも、金属膜・絶縁膜など各種材料で標準試料をとりえ揃えており、高感度な定量分析が...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST