固体表面ゼータ電位測定装置SurPASS 3　半導体ウェハ用

表面特性の分析を直接評価。表面特性の解明と改良、及び新しい材料開発に貢…

流動電位及び流動電流の測定原理に基づき、半導体ウェハのゼータ電位を評価します。 クランプセルは、SurPASS 3を用いて半導体ウェハ等の平面形状サンプルを測定するためのツールです。独自のメカニズムで設定した接触圧力によってサンプルを装着し、再現性の高い測定を実現します。 高い柔軟性 ・電解液の流路を挟んで同一のサンプル表面を向かい合わせ、そのサンプルのゼータ電位を求める構成と、リフ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン