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高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置
■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 ◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。 ◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。 ◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、 《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。
■「試作開発」「手洗い洗浄の代替」「省力化」「品質向上」等に最適です。 ■手洗い洗浄とは異なり、ばらつきの無いハイレベルな表面品質が得られます。 ■基盤品質Upと洗浄作業費削減の両立を達成 ◎例えば、4台の卓上洗浄機を人工代の安い1人の作業者で運用処理 ■Si、SiC、GaN、サファイア、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 ◎Maxサイズ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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