洗浄機『炭酸ガス　ドライステーション』

スラリー同時噴射で加工パワーの大幅アップを実現する洗浄機！

【洗浄アプリケーション】 ■GaAs,Fe-RAM,GMR-Head等リフトオフ、エッチング後のバリ取り ■メタル種類：Pt,Ir等高高度貴金属系及びNiFe、Crなどの多層膜 ■有機,無機ELのITO上(EL素子成膜前)の有機、メタルパーティクルの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェムテック