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極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…
【仕様】 ■被搬送物：4インチ GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 ・センタリング：±0.2mm以内 ・オリフラ：±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間：約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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