独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

ファンフィルターユニット（FFU）

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 　HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス 　除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング...

メーカー・取り扱い企業： トーアメック株式会社