汎用生産機『iDS500』

設置環境の静粛性を向上！ダスト対策のオプションもご用意しております！

『iDS500』は、磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を 搭載し、かつ各コンポーネントを高性能化したことにより、 低コスト短サイクルのコーティング処理を可能とした 次世代アークイオンプレーティング装置です。 真空ポンプをカバー内部に収納することで、設置環境の静粛性を向上。 また、アーク蒸発源の荷電部や配線類をカバーで覆い、インターロックを 付与することで安全性も向...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイ・ティ・エフ株式会社

小型生産機・研究開発機『iDS-mini』

大幅なサイクルタイム短縮を実現！カソード材料コストは約4分の1まで低減…

『iDS-mini』は、大幅なコーティング材料コストの低減ができる 小型生産機・研究開発機です。 新開発のアーク蒸発源はカソード材料をφ160×t12のサイズまで大型化し、 広い面積を効率よく消耗させるため、磁石を回転させる独自の構造と なっています。 これらによりカソード材料の長寿命化が達成され、カソード材料コストは 約4分の1まで低減させることができます。（当社従来比） ...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイ・ティ・エフ株式会社