『ナノ位置決めステージ』『レーザ干渉式変位センサ』

ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位…

【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー