組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

カーボンニュートラル実現に向けて

三井精機のオイルフリー（水潤滑式）コンプレッサならオイルを一切使用して…

】 ■環境に配慮した水潤滑：オイル交換・ドレン処理不要 ■水シールで高効率：クラス最大の圧倒的な空気量 ■インバータ制御による本格省エネ：20％～100％のワイド制御 ■さらに効率を上げるIPMモータ：しかもモータ直結メカロスなし ■空冷ファンもインバータ制御：さらに省エネパワーがアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 三井精機工業株式会社