非接触表面抵抗測定器

非接触、オンラインでシート抵抗測定が可能！最大20mmのギャップで測定…

NAGY社の非接触表面抵抗測定器は、非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能です。渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器で、非接触、オンラインにて非導電性基板上の導電膜を測定可能です。ITO等の透明電極や金属膜成膜プロセスのオンラインモニタリングに最適。既存成膜装置、搬送ラインへの組込が可能です。また、多様なアプリケーションに対応可能で、最大23mmの開口部により様々な基板（ガラス、プラスチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

フラッシュランプアニーリング装置　FLA

半導体など各種材料に！数ミリ秒から数百ミリ秒の超短時間でアニーリング可…

フラッシュランプアニーリング装置　FLAは、DTF-FLA ウルトラショートタイムアニーリング用にデザインされたスタンドアローン装置です。半導体材料、その他の材料に対して、数ミリ秒から数百ミリ秒の超短時間のアニーリングをすることが可能です。非常に短いパルス（マイクロ/ミリ秒レベル）のキセノンフラッシュランプにより、超高速昇温レートで表面のみ加熱しますので、フレキシブル基板、 耐熱温度の低い基板上の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー