卓上型精密研磨装置
ラッピング(粗研磨)からポリッシングまでこれ1台 GaAsやInPとい…
プレート自体の面形状を0.1μm分解能でモニター&自動修正を行います。 研磨治具が装置本体と通信し、研磨レートのチャート表示や目標研磨量の設定、マルチレシピの設定などが出来ます。 また、GaAsやInPといった化合物半導体のCMPに対応した薬品モデルもご用意しており、高精度、高速、ダメージレスのCMPも一台で全て行うことが出来ます。(ディレイヤリングも可)...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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