高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

封じ込め用アイソレータ・グローブボックス『MGI90』

PRメンテナンス性能が飛躍的に向上！給排気清浄高気密型の封じ込め用アイソレ…

『MGI90』は、庫内圧を一定の陰圧状態に保ち、給排気ともにHEPAフィルター 付きで交叉汚染及び作業者への暴露を防止できる封じ込め用アイソレータ・ グローブボックスです。 主に高薬理活性物質や低レベル放射性物質の取り扱いに好適。 プロセス部は、SUS304（L）／SUS316（L）を主材質とし、内外面研磨かつ コーナーR仕上げとした滑らかで清掃性の良いシームレス構造を採用してお...

メーカー・取り扱い企業： 万善工機株式会社

圧力スイッチ『TPSシリーズ』

設定圧力を変えることができ、軽量・コンパクトで取り扱いが容易な圧力スイ…

『TPSシリーズ』は、材質にSUS316L、SUS316を使用している 圧力スイッチです。 軽量・コンパクトで取り扱いが容易。接続部は全部分溶接構造により Heリーク量1.3×10^-10Pa・m3/sec以下を保証します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部