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インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定…
m(形状測定として) Z方向分解能:5nm Z方向直線性:0.6μm サンプリングレート:70kHz 光源:赤外線SLD 通信方式:Ethernet,RS422,Analog,LVDT ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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