オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

MEMS慣性航法システム「Apogee」

高性能で汎用性の高いMEMS慣性航法システム「Apogeeシリーズ」

非常に低ノイズのジャイロスコープ、少ない遅延、高い耐振動性を備えており、正確な方向と位置のデータを提供するシリーズ製品です。内部拡張カルマンフィルターがリアルタイムの慣性データとGNSSデータに融合し、過酷な環境（橋、トンネル、森林など）でも位置と方向の測定を強化できます。Ekinoxシリーズと同様、Apogeeセンサには、操作後の分析または後処理用に8 GBのデータロガーが内蔵されています。.....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレアクト

慣性計測ユニット「Ellipse3」

ナビゲーション、モーション及びヒーブ計測用に適した最先端の小型慣性セン…

最先端のMEMSセンサ、特に非常に低ノイズのジャイロスコープを使っています。また内部FIRフィルタを備えた高品質の加速度計とコーニングとスカル積分を組み合わせて、強い振動下でも精度を維持できます。さらに、INSモ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレアクト

慣性航法システム「Ekinox3」

サイズ、精度、および価格の最適なバランスを持つEkinox慣性航法シス…

ハイエンドのMEMSセンサと高度な全温度範囲キャリブレーション手順と強力なアルゴリズム設計をうまく組み合わせることにより、コンパクトで軽量、且つ低電力でコストパフォーマンスが高い製品に設計されています。また、Ekin...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレアクト