光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削…

【その他の特長】 ■高純度プロセス用途向けにSUS316L10μインチ電解研磨仕上げ ■互換性のあるアナログI/OおよびデジタルI/Oによりほとんどの 　MKS製、または他社製MFCから置き換え可能、1479A同等品 ■CE指令およびRoHS指令に適合 ■EU向け条件を満たしています ■米国特許第5461913号 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

マスフロー制御ユニット『MSU101』

最大で6台まで同時に制御可能！お望みの混合ガスを手軽に生成できます

『MSU101』は、1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフロー コントローラをプログラムコントロールできます。 堀場エステック社製マスフローコントローラ（MFC）をコントロールし、 最大で6台まで同時に制御することが可能。 電源内蔵なので別電源を用意する必要がありません。 また、デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の 制御ユニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスワン