フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

切断面もキレイに！【CNCプラズマパイプ自動切断機とは】

PRワンタッチ起動でプラズマ切断可能！枝管切断・母管穴切断など様々な切断仕…

当社では、パイプを装着後にタッチパネルで切断諸元パラメータを設定すると、 ワンタッチ起動でプラズマ切断が行える『CNCプラズマ自動切断機』を 提供しております。 手作業（型紙墨入れ+実切断時間）に比べ、1/60以下に作業を短縮。 さらに、仕上がりも綺麗です。 【切断技術】 ■枝管切断 　・直角切断 　・斜め切断 　・斜め平面切断 ■母管穴切断 ※詳しくはPDFをダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エトロンシステム

【研磨パッド(PAD)】表面仕上げ用研磨パッド

基板の欠陥数低減の実現が可能！「表面欠陥数」の低減が確実に図れます

やコロイダルシリカとの組み合わせにより、 欠陥数の少ない高品質表面が得られます。 現在、シリーズ製品としては全部で4品種があり、「Asker-C硬度」は 「53」レベルへ。マスクの世界ではNGの「表面欠陥数」の低減が 確実に図れる製品です。 【ラインアップ】 ■N7512 ■N0012 ■N0092 ■N0192 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 八千代マイクロサイエンス 株式会社

【研磨パッド(PAD)】超精密研磨加工向け 『ベラトリックス』

様々な加工条件に対応！ストックリムーバル、ファイナルポリッシング用製品…

ディスク、ガラス等の超精密研磨加工向けの研磨パッドです。 お客様が追及される超精密仕上げ表面が得られるよう各種タイプ別の 豊富な製品をラインアップ。 硬質不織布に特殊硬化処理を施した「N0271」や軟質ベースに 軟質NAP層を形成し、微細な砥粒と相まって優れた仕上げ面を 作り上げる「N7512」がございます。 【ラインアップ】 ■N0271：ストックリムーバル用パッド ...

メーカー・取り扱い企業： 八千代マイクロサイエンス 株式会社

【研磨パッド(PAD)】ファイナルポリシングパッド「NP385」

研磨精度でお困りの方、高いレベルでのうねり・ロールオフなど驚くほどの研…

「BELLATRIX　NP385」は、PETベースに超硬質NAP層を形成したパッドです。 開孔径を制御できる範囲の中で極限まで小さくすることによりうねりを改善。 ご希望サイズの加工、両面テープ加工、溝加工、砥粒孔加工など...

メーカー・取り扱い企業： 八千代マイクロサイエンス 株式会社