実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

新型超音波サーボ溶着機 Infinityシリーズ

PR安定した溶着を実現可能なサーボプレス超音波溶着機が、工具レスでのスタッ…

2010年に超音波サーボ溶着機をリリースしてから11年の歳月を得て、デュケインの超音波サーボ溶着機が新たに生まれ変わりました！ サーボモーターをアップグレードし、最大荷重はそのままで、上下ストロークの速度をアップして、サイクルタイムを短縮。 従前機でも使用可能な特許技術の溶融検知機能や、速度プロファイル機能、ダブルホールド制御機能などに加え、荷重検出制御、荷重上昇割合制御機能など、より高度な溶...

メーカー・取り扱い企業： デュケインジャパン株式会社

SiCウェハにおける精密加工技術と平滑性向上

★シリコンとは異なる耐薬品に優れたSICにマッチする洗浄剤、研磨剤はど…

【講演要旨】 最近、SiCが安定的に大口径化・量産化出来てきたことにより、次の加工プロセスが注目されている。現在、コスト面からエッチングガスとしてSF6が候補になっているが。本講演では、NF3ガスおよびNF3/O2混合ガスプラズマ中でのSiC表面の平滑化機構を解明し、ガス圧を低くして平滑化の妨げになるスパイクの生成を抑制し、また、ピラー生成を抑制すべく、NF3/Ar混合ガスプラズマを用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…

ナノカーボン材料の開発動向 ■大容量PCRAM 向け量産装置とプロセスの開発 ■アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 ■プラズマ実験装置用クライオポンプ「CRYO-U48NF」の開発 ■4K-GM 冷凍機「UR4K シリーズ」の新機種開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

書籍【水処理膜の製膜技術と材料評価】

成長市場「水ビジネス」で最も期待されている「水処理膜」技術! 水処理…

と評価法 　4.　膜閉塞のメカニズムと評価法 第3 章　水処理膜の製膜技術 第4 章　水処理膜の処理能力評価 　第1 節　膜プロセスによる化学物質や微生物除去についての考え方 　第2 節　NF 膜による微量有害有機汚染物質除去の評価 第5 章　ファウリング抑制技術 　第1 節　ファウリングの基礎と膜に与える影響の評価 　第2 節　膜ファウリングの素性と制御技術～原因物質・発生メカニ...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社