セラミック製品　ＥＳＣ（静電チャック）

材料を創設し、いつの日かを創造する

各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。...【特徴】 ○Zero thermal expansion type ESC 　・高精度　平面度＜100nm(8インチ) 　・ポアフリー化対応 　・高比剛性 　・非磁性 ○Built in He...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック

セラミック製品　ポーラスチャック

材料を創設し、いつの日かを創造する

平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。 ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。...【特徴】 ○ポーラスと基台が一体構造 　独自の技術により、基台とポーラス体の界面は、一体構造を有しています。 　これにより、非常に優れた吸着面の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック

セラミック製品　ＺＰＦ（ゼロ膨張セラミックス）

材料を創設し、いつの日かを創造する

セラミックスの高剛性を保ちながら、超低膨張性の再結晶ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的材料です。...【特徴】 ○低熱膨張 ○高剛性 ○非磁性 ○再結晶化ガラスに代わり、ナノレベルの制御が求められる半導体製造装置（ウエハ露光、レチクル描画等）に対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック

セラミック製品　ファインセラミックス製品

材料を創設し、いつの日かを創造する

アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、サイアロンなどを主原料とした各種構造用ファインセラミックス製品を取り扱っています。...【特徴】 ○高強度 ○耐摩耗性 ○耐熱性 ○大型形状可能 ○比較的安価 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック

セラミック製品　超精密真空チャック

材料を創設し、いつの日かを創造する

ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。 各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。...【特徴】 ○高精度：平面度0.2μm,L/F0.1μm以下 ○材質選択性：結晶化ガラス、SiC、導電性セラミックス ○形状制御：ウエハーの形状に応じたチャック形状 ○低パーティクル性：ポアフリー、Double-P...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック

機能製品　セラミックス溶射

コストパフォーマンスは追求できる

溶射装置メーカー”エアロプラズマ社”と日本セラテック社セラミックス材料技術のコラボレーションにより、超緻密・高耐電圧・耐プラズマ特性等無限の可能性を秘めたセラミックス溶射技術を確立しました。...【特徴】 ○超緻密 ○高耐圧性 ○低コスト ○高付加価値テクノロジー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NTKセラテック