第三の光加熱源！LEDアニール装置

PR加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

電解研磨とは

PR微小な凸凹の平滑化＆比較的大きな凸凹の除去を同時に行い、光沢が得られる…

電解研磨とは、電解液中(主として酸溶液)で製品の表面(ステンレス等の金属)を 電気化学的に溶解させながら研磨する方法です。 0.01～0.1μm程度の微小な凸凹の平滑化と、数μm程度の比較的大きな凸凹の 除去が同時に行われ、光沢が得られます。 パフ研磨との一貫施行ができ、国内現地出張工事が可能です。 【特長(特にステンレス)】 ■洗浄性の向上 ■微粉末の難付着性 ■強靭...

メーカー・取り扱い企業： 三和産業株式会社

ウェハ外観検査装置『ED-Scope』

ウェハ検査の常識を変える！誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価すること…

なかった欠陥を可視化 ■欠陥検査時間を大幅に短縮 ■広視野で観察可能(視野H：136mm) ■AIソフトで自動欠陥検出機能を搭載可 ■誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

ウェハ膜厚・表面粗さ測定機　SemDex A32, M1, M2

完全自動化！マルチセンサ技術を備えた高速ウエハ計測・選別システムをご紹…

等は、単一の測定ランにおいてsub-μm精度で測定 ■ミニバンプ等のパラメータも同様に測定することが可能 ■モジュールオプションとして、多様なセンサ・測定ステージなど選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

ウェハ欠陥検査装置

ウェハ搬送ロボから自動外観検査装置まで、半導体用各種装置をご紹介！

【ウェハ裏面 欠陥検出内容】 ■バックグラインド工程による加工時の欠陥 ■ハンドリング時の欠陥 ■薄型ウェハ、貼り合わせ工程の欠陥 ■ウェハ裏面メタル工程による欠陥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社