PFC・PFN除害装置　「クリーンエスPF・PFN」

低温600℃以下、高分解率99％以上でPFC・SF6・NF3を除害処理

PFC・PFN除害装置「クリーンエスPF・PFN」は、低温（600℃以下）、高分解率（99％以上）でPFC・SF6・NF3を除害処理します。フッ素分を化合物として固定しますので後段でのフッ素分の処理が不要です。取扱いの容易な除害カラム（反応器）交換方式で、除害に必要なユーティリーティは電気、空気、窒素だけです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホクエツ