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PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…
Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット(アクチュエータ)が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のTダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Tダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...
メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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顕著な進展があった合成・構造設計・アロイ混練形成装置・構造解析・粘弾性…
植物由来樹脂複合材料の特性評価 第2節 架橋ジフェニルアミン系ポリマーによるバイオプラスチック/LTIブレンド 第3節 ポリオキシメチレンとポリ乳酸のポリマーブレンド 第4節 PS/PLAアロイ 第5節 リアクティブプロセッシングによる植物バイオマス/ポリマー複合体 第8章 解析手法 第1節 ポリマーアロイおよびフィラー含有ポリマーの透過型電子顕微鏡解析 第2節 3次...
メーカー・取り扱い企業: S&T出版株式会社
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理論・プロセスから目的 に応じた最適な手法・ノウハウをまとめた現場で役…
動における分散理論 15. 伸長流動分散技術の応用 第6章 ナノ分散を含む分散応用技術 16. ナノ分散技術、超微分散技術とスラリ分散技術 17. ナノ分散技術を用いた結晶性PLAの高発泡技術 ...
メーカー・取り扱い企業: S&T出版株式会社
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