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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…
Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット(アクチュエータ)が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のTダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Tダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...
メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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バイオマス度最大100%!薄肉シートも対応可能なバイオ由来×生分解のフ…
【フィルム基本情報】 ■組成:PLAベース、PBSベース、Bio HDPEベース、セルロース由来 ■バイオ度:40~100% ■生分解性:生分解性スピードUPに特化したグレード有 ■規格:ご希望の規格をご相談ください ■厚み...
メーカー・取り扱い企業: クラボウ(倉敷紡績株式会社)
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食品接触もOKなバイオフィルムやシートをご提供!バイオ由来×減プラに貢…
【フィルム基本情報】 ■組成:PLAベース、PBSベース、Bio HDPEベース、セルロース由来 ■バイオ度:40~100% ■生分解性:生分解性スピードUPに特化したグレード有 ■規格:ご希望の規格をご相談ください ■厚み...
メーカー・取り扱い企業: クラボウ(倉敷紡績株式会社)
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表面はミラーやマット調仕上げ対応可能なバイオマスフィルム&シートのご提…
【フィルム基本情報】 ■組成:PLAベース、PBSベース、Bio HDPEベース、セルロース由来 ■バイオ度:40~100% ■生分解性:生分解性スピードUPに特化したグレード有 ■規格:ご希望の規格をご相談ください ■厚み...
メーカー・取り扱い企業: クラボウ(倉敷紡績株式会社)
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面白い素材!珍しい素材で石油由来プラスチックを削減し、SDGsにも貢献…
【フィルム基本情報】 ■組成:PLAベース、PBSベース、Bio HDPEベース、セルロース由来 ■バイオ度:40~100% ■生分解性:生分解性スピードUPに特化したグレード有 ■規格:ご希望の規格をご相談ください ■厚み...
メーカー・取り扱い企業: クラボウ(倉敷紡績株式会社)
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SDGsに貢献!バイオマス由来フィルム・シート製品「ジオフロー」
高バイオマス度のフィルム・シートで生分解性グレードもラインアップ!様々…
【フィルム基本情報】 ■組成:PLAベース、PBSベース、Bio HDPEベース、セルロース由来 ■バイオ度:40~100% ■生分解性:生分解性スピードUPに特化したグレード有 ■規格:ご希望の規格をご相談ください ■厚み...
メーカー・取り扱い企業: クラボウ(倉敷紡績株式会社)
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バイオマス度最大100%!透明×バイオ由来×土壌海洋生分解の素材提供も…
【フィルム基本情報】 ■組成:PLAベース、PBSベース、Bio HDPEベース、セルロース由来 ■バイオ度:40~100% ■生分解性:生分解性スピードUPに特化したグレード有 ■規格:ご希望の規格をご相談ください ■厚み...
メーカー・取り扱い企業: クラボウ(倉敷紡績株式会社)
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