フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

長尺物運搬車 300kg

●長い荷物を運ぶ際に便利です。

●静音台車ですので運搬時も静かです。...●サイズ：巾600×長さ910×高さ220mm 　　　　　ハンドル高さ890mm ●ハンドル固定式(長尺)×2本 ●車輪(φ130mm・ゴム)：固定(ピッチ100×56 穴径φ9) 2ヶ 　　　　　　　　　　　 自在(ピッチ80×80 穴径φ9) 2ヶ ●材質：テーブル部・キャスター/樹脂 　　　　ハンドル部/スチール ●積載荷重：300kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パーマンコーポレーション

四輪台車 プラスチック 150kg 巾490×長さ730mm

●ハンドル折りたたみ式

●静かな台車 ●走行音が小さい...●積載荷重：150kg ●サイズ：巾490×長さ730×高さ170mm 　　　　　ハンドル高さ890mm ●折りたたみ時高さ：260mm ●車輪：φ100mm 　　　　ゴム 　　　　固定(ピッチ80×45、穴径φ10.5)2ヶ 　　　　自在(ピッチ71×71、穴径φ10.5)2ヶ ●自重：11.5kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パーマンコーポレーション

四輪台車 プラスチック 300kg 巾600×長さ910mm

●ハンドル折りたたみ式

●静かな台車 ●走行音が小さい...●サイズ：巾600×長さ910×高さ220mm 　　　　　ハンドル高さ890mm ●折りたたみ時高さ：303mm ●車輪：φ130mm 　　　　ゴム 　　　　固定(ピッチ100×56、穴径φ11)2ヶ 　　　　自在(ピッチ80×80、穴径φ11)2ヶ ●積載荷重：300kg ●自重：17kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パーマンコーポレーション

四輪台車 プラスチック 250kg 巾500×長さ825mm

●ハンドル折りたたみ式

●静かな台車 ●走行音が小さい...●サイズ：巾500×長さ825×高さ215mm 　　　　　ハンドル高さ890mm ●折りたたみ時高さ：303mm ●車輪：φ130mm 　　　　ゴム 　　　　固定(ピッチ100×56、穴径φ11)2ヶ 　　　　自在(ピッチ80×80、穴径φ11)2ヶ ●積載荷重：250kg ●自重：13kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パーマンコーポレーション