ポストＣＭＰ／スクラバー用ＰＶＡブラシ

ウエハのポストCMP洗浄に最適！特殊洗浄で高度なクリーン度を実現。

脂，酸・アルカリ洗浄を行い 樹脂からの溶出イオンを最小に抑えております。 【特長】 ●酸・アルカリを使った特殊洗浄により溶出イオンの最小化を実現した。 ●表面にスキン層が形成されるためPVAのパーティクルが少ない。 ●表面にスキン層が形成されるため寿命が長い。 ●製造中に研磨剤を使用しないので、研磨剤のコンタミネイションが無い。 ●切削製品と比べ表面がより平滑である。 ●切削...

メーカー・取り扱い企業： ＫＭジャパン株式会社