技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

書籍：偏光板・位相差板 入門

～偏光板・位相差板とお友達になろう～

光の性質、偏光とはなにか？偏光板・位相差板の仕組みとは 　●偏光板・位相差板にはどのような基本性能が求められるか、それを支える技術とは 　●偏光板・位相差板はどのようにして製造されるか 　●PVA・TAC・PETフィルム、粘着剤など、偏光板・位相差板を構成する材料 　●さまざまな偏光板・位相差板の種類と特徴、機能化のための要素技術 　●LCDをはじめとする各用途における偏光板・位相差板...

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