高真空対応 ゲッターポンプ「CapaciTorr HV(R)」

高真空領域(10-7～10-9Torrで繰り返し使用可能な非蒸発型ゲッ…

CapaciTorr HVポンプは新しい多孔質性焼結型ゲッター合金ZAOを使用しています。ZAOは大量の大気、水、一酸化炭素、二酸化炭素を吸着する能力を持つため、CapaciTorr HVポンプは高真空の領域で繰り返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。（10-7～10-9Torrレベル） 【特徴】 ○ 全ての活性ガスに対し高い排気速度 ○ 高真空でガス負荷が多い時は高温稼動...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

全てのガスを効率的に排気する　超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイ...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

*ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

•クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能　※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要　※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s　⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社