円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイド...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

JCT1-0500ティーチングボックス

ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。

3ポジション　デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g（ケーブル除く） 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載...入力電圧 DC5V(±5%) 通信 RS232C 環境 0～40℃　（ただし結露しないこと） 付属ケーブル 5mまで 非常停止接点 A接点 外形寸法 W118×H225×D33（非常停止ボタン含まず）コントラスト調整用穴...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル