STWHR4156 (防水対応）ジェーイーエル

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。
薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。
LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。

アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保
アーム関節部防水構造にVシール使用
部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能
ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮
動作モニター装備
制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
全軸2相ステッピングモータ使用
S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

基本情報STWHR4156 (防水対応）

ロボット仕様
ロボット型式 STWHR4156-200-PM
被搬送物～300mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式円筒座標型制御軸 4軸
モータタイプ 2相パルスモータ
動作範囲アーム第3関節中心旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
312mm 340度 200mm
搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
300mm/sec 100度/sec 100mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
600mm/sec 130度/sec 140mm/sec
分解能アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
107µm以下 0.0107度 12.5µm以下
搬送レベル 569mm (ベース取付面から上チャックの搬送ライン)
繰り返し精度 ±0.2mm以内
ユーティリティ電流電圧：DC24V 10A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)