フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

産業機器用充電器『SHCシリーズ』

EB,VRLAの両方に対応！小形、軽量化を実現した定電流定電圧充電器

『SHCシリーズ』は、スイッチング方式を採用した、産業機器用充電器です。 開放型、制御弁(密閉)式鉛蓄電池に対応。 充電状況はフロント面の2つのLEDで確認可能です。 定電流充電を行い、端子...

メーカー・取り扱い企業： オリオンオートクラフト株式会社